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《第三届全国虚拟仪器大会论文集》2008年
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一种基于PSD的精密平面测量方法

胡长德  钱征宇  齐永岳  李艳霞  
【摘要】:介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶上。测量靶一边移动,PSD一边拾取激光平面信号,经放大滤波、A/D转换、单片机(MCU)数据处理后,将结果输送到显示屏(LED)。通过实验测试表明,整个系统的不确定度优于3μm,系统的分辩力在l gm以内,测量范围目前4m以内。稳定性良好,可用于精密测量领域中的平面测量。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 梁长垠;位置自动检测与数据处理[J];传感器技术;2001年07期
2 邱自学;袁江;毛建;;改进型二维位置敏感探测器检测误差的校正[J];传感器与微系统;2006年08期
3 赵灿;程俊廷;何风梅;;三维激光扫描测量机随动运动控制系统与图像采集系统的设计[J];电子测量与仪器学报;2004年04期
4 陶立,许智钦,孙长库;激光平面扫描3D测量系统快速标定技术[J];光电子·激光;2003年09期
5 尚鸿雁;;位置敏感探测器的动态响应误差分析[J];光电子·激光;2006年11期
6 李义双;激光平面系统的设计与实现[J];机器人;2003年02期
7 吴学兵;朱国力;邹万军;;基于PSD的电子激光标靶的研究[J];机械与电子;2006年07期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 黄梅珍;位置敏感探测器的研究[D];浙江大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 卢剑光;基于激光平面的平面测量系统的研究[D];天津大学;2005年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 尚鸿雁;;位置敏感探测器的响应时间分析[J];半导体光电;2008年06期
2 李田泽;王淑云;张霞;;基于半导体光电位置敏感器件厚度检测仪研制[J];半导体光电;2010年01期
3 钟平,续志军;一种基于PSD红外线位置传感器的设计[J];传感器技术;2005年05期
4 尚鸿雁;;枕型PSD动态响应特性研究[J];传感器与微系统;2007年03期
5 孙萍;秦明;;一种基于光点位置敏感器件的风速风向测试系统设计[J];东南大学学报(自然科学版);2010年06期
6 全凌云;谭建平;王宪;成小乐;;高精度挤压机中线同轴度实时检测系统研究[J];锻压技术;2012年03期
7 王霞;胡长德;李向东;;激光平面测量系统的研究[J];电子测量技术;2009年02期
8 王从军;江舜妹;李中伟;;关节式坐标测量机激光测量头参数标定[J];光电工程;2007年07期
9 陈慧;赵斌;;无衍射光电子标靶及误差分析[J];光电工程;2011年02期
10 杨晓峰;张婷婷;张金云;;扫描器运动控制特性测试系统[J];电光与控制;2012年08期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李存华;杨启成;祁跃东;;矢量补偿技术精密测量空间三维曲面及逆向工程[A];中国烟草学会2009年年会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈慧;基于无衍射光的盾构位姿测量系统的理论与技术研究[D];华中科技大学;2011年
2 鞠华;逆向工程中自由曲面的数据处理与误差补偿研究[D];浙江大学;2003年
3 刘京诚;微小步行爬壁机器人驱动与位置检测技术及系统[D];重庆大学;2003年
4 陶忠祥;位置敏感探测器在头位跟踪中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
5 王宗义;线结构光视觉传感器与水下三维探测[D];哈尔滨工程大学;2005年
6 郭丽峰;电梯导轨不平顺度测量、建模及轿箱水平振动特性的研究[D];天津大学;2005年
7 杨培;基于弧焊机器人的典型零件柔性再制造系统研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 吴恩启;微细管道内表面检测及三维重建关键技术研究[D];浙江大学;2005年
9 陶立;彩色三维激光扫描测量系统关键技术的研究[D];天津大学;2005年
10 喻擎苍;基于符号M阵列二值结构光的三维检测方法的研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张明富;小角度测量仪的研制[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 周杰;左、右心系统非接触检测方法及其传感器设计[D];杭州电子科技大学;2009年
3 原玉磊;三维激光扫描应用技术研究[D];解放军信息工程大学;2009年
4 吴腾蛟;基于数字信号处理技术的PSD相位法多光束同步检测系统研究[D];重庆大学;2011年
5 位洪军;单线激光扫描三维测量技术研究[D];天津大学;2012年
6 邢计元;白光相移干涉技术中相移控制器的研制[D];哈尔滨理工大学;2011年
7 林永涛;PSD综合性能检测系统的研制[D];浙江大学;2012年
8 卜令涛;基于PSD技术的布长精确测量系统研究与设计[D];南京理工大学;2011年
9 叶华俊;正电子成像系统关键技术的研究[D];浙江大学;2003年
10 杨富;10.6 μm激光辐照下光学薄膜热畸变和微弱吸收的研究[D];四川大学;2003年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黄梅珍,林斌,唐九耀,曹向群,陈钰清,朱列伟;四边形电极结构二维PSD非线性及失真分析[J];半导体光电;2000年04期
2 霍震,唐诗才;位置敏感光电探测器[J];半导体光电;1998年01期
3 谢会开,王爵树;小型相机自动对焦用光电位置传感器[J];传感器技术;1992年04期
4 崔海,蔡威,谭定忠,孟焯;PSD在石英摆片综合参数测试系统中的应用[J];传感器技术;1999年05期
5 梁长垠;位置自动检测与数据处理[J];传感器技术;2001年07期
6 王晓东,赵杰,吴威,蔡鹤皋;采用PSD的激光测距传感器的检测及控制电路[J];传感器技术;1995年05期
7 袁红星,吕爱民,贺安之;稳定背景下PSD的位置误差分析[J];传感器技术;1998年05期
8 陈东坡;激光技术在滚道凸度测量中的应用[J];轴承;1999年10期
9 孙悦,肖蓉;带RS232接口仪器与兼容机的接口[J];电测与仪表;1995年08期
10 贺安之,吕爱民,闫大鹏,张显东,王志兴;火炮身管弯曲度、炮口角检测系统的研究[J];弹道学报;1997年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张艳珍;微机视觉系统相关理论及技术研究[D];大连理工大学;2001年
2 黄梅珍;位置敏感探测器的研究[D];浙江大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 程俊廷;反求工程关键技术的研究[D];辽宁工程技术大学;2002年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 苏少华,石庚辰;PSD信号处理电路的研究[J];华北工学院测试技术学报;2001年02期
2 王晓东,赵杰,吴威,蔡鹤皋;采用PSD的激光测距传感器的检测及控制电路[J];传感器技术;1995年05期
3 王全玉,吴威,赵杰,蔡鹤皋;柔性腕力、力矩传感器及其检测系统[J];电测与仪表;1996年01期
4 孙安;陈嘉琳;李国扬;王利;常丽萍;林尊琪;;基于高频微波技术的分布式光纤传感器布里渊散射信号检测[J];中国激光;2007年04期
5 黄银国;林玉池;王为;;基于正弦调制的激光平面测量系统的研究[J];传感器与微系统;2009年11期
6 胡建明;曾爱军;王向朝;;光栅成像位置传感器中的偏振调制技术[J];中国激光;2006年10期
7 李建民;宋元军;王蕴芬;王增波;杨富;李崇香;冯浩;孟旭东;;动态气泡直径的远场干涉测量方法[J];光子学报;2008年06期
8 童桂;廖文和;梁春;;哈特曼-夏克波前传感器的最优模式复原[J];激光技术;2008年04期
9 胡林亭;史德民;李佩军;任成才;;激光监测系统测量精度的检测方法[J];激光技术;2008年06期
10 王全玉,王晓东;机器人柔性腕力传感器及其检测系统[J];传感器技术;2004年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 胡长德;钱征宇;齐永岳;李艳霞;;一种基于PSD的精密平面测量方法[A];第三届全国虚拟仪器大会论文集[C];2008年
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