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《第三届全国虚拟仪器大会论文集》2008年
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硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析

孟召丽  秦丽  吴永亮  
【摘要】:通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态应力寿命试验,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性强化试验方法。研究了它在低温、电压共同作用下的失效机理。针对硅压阻式压力传感器零位温度漂移提出失效判据。对失效样品进行了解剖分析,提出了相应的改进措施。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 关荣锋;;MEMS机油压力传感器可靠性研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
2 齐虹,王蕴辉,易德兴,王善慈;硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析[J];传感器技术;2001年04期
3 褚卫华,陈循,陶俊勇,张春华,蒋培;高加速寿命试验(HALT)与高加速应力筛选(HASS)[J];强度与环境;2002年04期
4 李超;尹霞;陈琨;;可靠性强化试验技术现状及展望[J];质量与可靠性;2006年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴虹;李延夫;;硅压力传感器可靠性强化试验研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
2 卢致续,王晔,苗刚;基于C++ Builder下的压力传感器自动测试系统[J];传感器技术;2002年03期
3 杨春虹;李斌;来萍;王茂菊;恩云飞;;高加速应力试验及极限应力试验综述[J];电子与封装;2006年10期
4 张洪伟;夏泓;江理东;董宇亮;付琬月;;宇航元器件极限评估技术研究[J];电子元件与材料;2011年11期
5 毋俊玱;董宇亮;张小川;张洪伟;;宇航元器件极限评估试验剖面设计[J];电子元件与材料;2012年01期
6 吴永亮;陈国光;孟召丽;;基于步进应力加速寿命试验的硅压力传感器寿命预测[J];电子测量技术;2009年12期
7 任志乾;;激光捷联惯导系统的可靠性强化试验技术[J];电子产品可靠性与环境试验;2008年01期
8 王道震;邵家骏;王晓峰;;基于HALT的测试性验证方法研究[J];电子产品可靠性与环境试验;2010年01期
9 黄晓因,段美英,鲁绍坤,周宏;硅压阻式压力传感器时漂研究[J];电子器件;2005年01期
10 汤恒,唐世洪;压阻式力敏硅传感器的结构剖析[J];电子质量;2001年07期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 李彩霞;宋保维;梁庆卫;;系统可靠性试验发展浅析[A];2009年全国机械可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会成立大会论文集[C];2009年
2 柯广贤;王健;;可靠性测试方法在电子产品中的应用研究[A];全国冶金自动化信息网2009年会论文集[C];2009年
3 吴虹;李延夫;;硅压力传感器可靠性强化试验研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 褚卫华;模块级电子产品可靠性强化试验方法研究[D];国防科学技术大学;2003年
2 邓爱民;高可靠长寿命产品可靠性技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
3 王考;气动式振动台振动激励能谱优化研究[D];国防科学技术大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李婷;数控系统的可靠性强化试验技术研究[D];湖北工业大学;2011年
2 冯文哲;基于试验损失的Bayes装备可靠性统计验证试验设计[D];国防科学技术大学;2011年
3 于宗乐;基于强化试验的变加速模型与可靠性评估方法研究[D];国防科学技术大学;2011年
4 金君;HALT/HASS在光电通讯产品研发验证中的应用[D];复旦大学;2011年
5 刘维维;典型元器件在高温环境下参数变化机理研究[D];中北大学;2012年
6 王考;基于PQFP的试验剖面优化与缺陷激发效果分析[D];国防科学技术大学;2003年
7 李喜奇;设备状态检测与传感器故障诊断技术研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
8 乔大雁;微机继电保护硬件可靠性评估和筛选试验的研究[D];华北电力大学(北京);2006年
9 方晶敏;航天电连接器综合应力可靠性评估与增长的研究[D];浙江大学;2007年
10 王根东;多用户电子式电能表的可靠性及其强化试验设计研究[D];重庆大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 秦永和,李伟,程本同,刘光辉;汽车传感器的现状与发展趋势[J];传感器技术;2003年12期
2 王蕴辉,齐虹,李瑞,王善慈;扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析[J];传感器技术;1998年05期
3 刘玉明;环境应力筛选试验的实践[J];电子产品可靠性与环境试验;1997年02期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 孟召丽;秦丽;吴永亮;;硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析[A];第三届全国虚拟仪器大会论文集[C];2008年
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