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《第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)》2008年
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用扫描探针显微镜扫描二维光栅形貌

郭生士  
【摘要】:本文简述扫描探针显微镜的基本工作原理及特点,以二维光栅作为测试样品介绍AJ-Ⅲ型扫描探针显微镜的实验过程,观测二维光栅的形貌图,并利用离线软件对其三维图像、颗粒尺寸、剖面图像等进行分析与处理,最后指出仪器存在的不足与改进意见。
【作者单位】:厦门大学物理系
【分类号】:TH742

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【参考文献】
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1 闫勇刚,马强,黄俊杰,刘万里,孙大许,梁智永;基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究[J];微纳电子技术;2005年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 闫勇刚,马强,黄俊杰,刘万里,孙大许,梁智永;基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究[J];微纳电子技术;2005年03期
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