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《2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)》2008年
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一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究

朱亮  叶雄英  冯焱颖  武雁斌  周兆英  
【摘要】:本文介绍了一种基于EWOD效应的微液滴控制芯片,该芯片利用硅微加工工艺制作,以多晶硅作为电极和SiO2作为绝缘层。我们进行了基于EWOD效应的液滴控制实验,测试了制作的芯片对于微液滴的控制性能。结果表明,在电压小于80V的时候,接触角测量值基本和预测曲线吻合。实验中得到的液滴最快移动平均速度为6.98mm/s。实现了液滴的四个基本操作动作:产生、合并、输运、分割。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
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