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《2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅱ)》2008年
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微型零件几何量显微视觉测量系统的研制

余厚云  杨明  赵转萍  
【摘要】:针对计量测试领域中小尺寸测量这一难点,设计并研制出一套显微视觉测量系统,完成对微型零件几何量的测量。以半导体芯片导线线宽测量为例,介绍了光学系统的设计,给出了显微测量系统的硬件组成。采用类判别分析法选取阈值完成图像分割,并通过对标准件的测量实现了显微测量系统的标定。最后,给出了芯片导线线宽的测量结果,理论计算及实验结果表明,该系统具有较高的测量精度,为微型零件的检测提供了有用的工具。

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【参考文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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1 余厚云;杨明;赵转萍;;微型零件几何量显微视觉测量系统的研制[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅱ)[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前6条
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2 梅如敏;光纤连接器陶瓷插针同轴度测量系统的研究[D];华中科技大学;2005年
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5 夏绪伟;基于机器视觉技术的万能工具显微镜计算机辅助测量系统[D];重庆大学;2005年
6 张敦虎;细胞工程用微针的拉制与测量技术研究[D];南京理工大学;2004年
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