收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量

徐从裕  余晓芬  
【摘要】:提出了光栅信号快速采样与精确测量相结合的光栅纳米测量方法,给出了在高速测量条件下的光栅纳米测量的细分算法、信号快速采样和数据处理。测试结果表明,测量速度与光栅细分倍数无关,当选用光栅栅距为20 mm 的光栅尺,在2000 000倍的细分数下,能够实现小于1nm 的有效测量分辨率和每光栅周期仅采样10个点的测量速度。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 徐从裕;余晓芬;;非同步采样法的光栅纳米测量[J];计量学报;2008年04期
2 张建,温坚;爬行现象的微机检测和分析[J];光学精密工程;1994年06期
3 饶家崇,郭建蓉,张恒;《光栅线位移测量系统检定规程》编制说明及误差分析[J];实用测试技术;1994年01期
4 李怀琼,崔骥;计量光栅辨向技术[J];光电子技术;1999年04期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978