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《2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)》2007年
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快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量

徐从裕  余晓芬  
【摘要】:提出了光栅信号快速采样与精确测量相结合的光栅纳米测量方法,给出了在高速测量条件下的光栅纳米测量的细分算法、信号快速采样和数据处理。测试结果表明,测量速度与光栅细分倍数无关,当选用光栅栅距为20 mm 的光栅尺,在2000 000倍的细分数下,能够实现小于1nm 的有效测量分辨率和每光栅周期仅采样10个点的测量速度。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李怀琼,陈钱,庄小栋;新型光栅信号数字细分技术及其误差分析[J];电子测量与仪器学报;2001年03期
2 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
3 余文新,胡小唐,邹自强;一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法[J];天津大学学报;2002年01期
4 楚兴春,吕海宝,杜列波,周卫红;莫尔条纹交点跟踪计数细分法[J];宇航计测技术;2004年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 武佳贺;郑玮;马建立;李洪祚;;基于CPLD的光栅信号快速细分技术的研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2007年01期
2 张珂;杨其华;李冰;李浩;;基于霍尔器件的非接触式角度传感器研制[J];传感技术学报;2008年06期
3 楚兴春,吕海宝,杜列波;正交莫尔(干涉)条纹区段跟踪计数细分法[J];测试技术学报;2004年03期
4 张兴华;王克逸;;光栅信号电阻链高倍细分法的误差校正的研究[J];电子测量技术;2008年07期
5 江晓军;黄惠杰;王向朝;;基于光栅传感器的位移测量仪的研制[J];电子测量技术;2008年07期
6 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
7 徐从裕;余晓芬;;基于小波差动模式的双模态超声波电机驱动特性研究[J];电子测量与仪器学报;2008年02期
8 张立;周鲁飞;谈宜东;张书练;;纳米级分辨率双频激光回馈位移测量系统[J];电子测量与仪器学报;2009年04期
9 蒋培军 ,沈全洪 ,李晟 ,李庆祥;用于高密度母盘刻录系统的专用运动控制卡的研究[J];电子技术应用;2005年01期
10 朴伟英;袁怡宝;张志杰;李晶;;基于CPLD的只读存储器细分技术研究[J];电子器件;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
2 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王志军;基于激光雷达测量原理的火箭推力线测量技术研究[D];长春理工大学;2011年
2 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
3 杨定新;微弱特征信号检测的随机共振方法与应用研究[D];国防科学技术大学;2004年
4 周文祥;非正交系坐标测量机理论及轮轨外形测量技术研究[D];西南交通大学;2005年
5 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
6 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
7 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 张南洋生;多谱段空间光调制三维形貌测量技术[D];华中科技大学;2006年
9 徐从裕;大行程纳米定位驱动控制方法与系统研究[D];合肥工业大学;2008年
10 李淑清;光栅谐振子检测地震波的理论和方法研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈娟;容栅式地层抬动测量装置的研制[D];中南大学;2011年
2 张志刚;光电编码器细分误差分析及补偿研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 王帅;高精度多对极磁电式编码器研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 韩春阳;白光干涉的信号解调与处理的若干实用化技术研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
5 赵岩;编码器测速方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
6 陈雅磁;基于FPGA与单片机的高精度电子经纬仪光电信号处理系统研制[D];南京理工大学;2004年
7 海涛;数字式干涉型光纤传感器条纹电子计数细分实现方案研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
8 杜列波;纳米级光栅位移测量中关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2004年
9 张小凡;基于DSP的数字球径仪系统研制[D];南京理工大学;2006年
10 王晓鹏;基于FPGA与ARM7的高精度电子经纬仪光电信号处理系统研制[D];南京理工大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 吴晓峰;;一种智能式光栅莫尔条纹信号800细分与计数新方法[J];电子测量与仪器学报;1991年02期
2 李怀琼,陈钱,庄小栋;新型光栅信号数字细分技术及其误差分析[J];电子测量与仪器学报;2001年03期
3 金喜平,李书平,刘永胜,邱燕霖;高速高精度光栅数显装置的研究与设计[J];沈阳工业大学学报;1994年02期
4 余文新,胡小唐,邹自强;一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法[J];天津大学学报;2002年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐从裕;余晓芬;;非同步采样法的光栅纳米测量[J];计量学报;2008年04期
2 张建,温坚;爬行现象的微机检测和分析[J];光学精密工程;1994年06期
3 饶家崇,郭建蓉,张恒;《光栅线位移测量系统检定规程》编制说明及误差分析[J];实用测试技术;1994年01期
4 李怀琼,崔骥;计量光栅辨向技术[J];光电子技术;1999年04期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
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