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《2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)》2007年
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新型纳米级倍光程激光干涉系统

施玉书  高思田  卢明臻  崔建军  杜华  
【摘要】:本文介绍了一种具有纳米级分辨力的新型迈克耳逊激光偏振干涉系统。系统运用光学倍程技术,使光程差8倍于实际位移。采用共光路,立体空间布局设计,减小了干涉仪的体积并增强了其稳定性。激光光源由保偏光纤直接导入,解决了发热、散热的问题。通过与电容测微仪的比对实验,进一步分析和验证该干涉仪的性能。实现了λ/8的光学分辨力和土1 nm 的精度。

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【参考文献】
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