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《2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)》2007年
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高精度电容式位移传感器的研究

师树恒  王斌  朱健强  
【摘要】:本文介绍了一种高精度的电容式位移传感器,就其基本工作原理进行了讨论,对传感器测量电路进行模块化设计, 详细介绍传感器测头结构、完全等电位屏蔽技术与传感器主要电路,最后对电容传感器进行系统标定;实验证明,该传感器测量范围±5μm~±40μm,测量分辨率0 mm,测量精度20 mm。

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【参考文献】
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