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《第七届全国内耗学术会议论文集》2003年
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反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si_3N_4薄膜的 Young's 模量和内耗

李朝升  王先平  方前锋  S.Veprek  李世直  
【摘要】:利用振簧技术测量了不同退火状态下的 nc-TiN/a-Si_3N_4超硬薄膜的 Young's 模量和内耗随温度的变化关系.在 280—300℃附近观察到一个弛豫内耗峰.随着退火温度的升高,该内耗峰逐渐减弱,而 Young's 模量变化不大.750℃退火后,该内耗峰消失,而模量却从未退火时的430 GPa 激增至530 GPa.初步认为该内耗峰来源于非稳定界面的弛豫过程.

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