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《第九届全国相图学术会议论文集》1997年
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MOCVD的热力学分析

李静波  张维敬  李长荣  杜振民  
【摘要】:本文利用传质、平衡热力学和不可逆热力学对MOCVD体系进行了系统的分析.认为通常MOCVD体系中存在化学势梯度,可以用界面近平衡模式和界面非平衡模式来描述,并给出了针对不同模式的具体算法。
【作者单位】:北京科技大学材料科学与工程系
【基金】:国家“863”计划项目
【分类号】:TN304.055

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