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《中国物理学会第九届静电学术年会论文集》2000年
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产生高浓度臭氧的基础理论与方法研究

张芝涛  白敏菂  周晓见  白希尧  
【摘要】:论述了介质阻挡强电离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程.实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解.为此,采用α型Al_2O_3制成电介质薄层(230μm)以及窄放电间隙(110μm)的新工艺、新技术,取得折合电场强度E/n大于400Td的强电离放电,电子取得平均能量大于10eV,臭氧浓度达到250g/Nm~3,臭氧产生效率达到200g/kwh.进而,实现臭氧产生装置生产组合模块化、小型化.

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