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《2014年全国电磁兼容与防护技术学术会议论文集(上)》2014年
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TaN薄膜在微波薄膜匹配负载器件中的应用

彭斌  蒋中东  王磊  张万里  
【摘要】:本文研究了Ta N薄膜在微波薄膜匹配负载器件中的应用。利用Ta N薄膜设计了工作频率为DC-18GHz,承受功率10W的匹配负载1,工作频率为DC-18GHz,承受功率60W的匹配负载2,以及工作频率为30-35GHz,承受功率为100W的高频高功率匹配负载3。采用磁控溅射制备了Ta N电阻膜,采用掩膜图形化技术制备了所设计的薄膜匹配负载器件。测试结果表明,三款器件的电压驻波比在各自工作频率范围内均小于1.3,和仿真结果基本一致。同时对器件3测试了其功率负载能力,在加载功率100W,加载时间60分钟后,器件表面最高温度为107°C,匹配负载的电阻值变化了1.4%,表明所制备的负载器件具有良好的功率承载能力。
【作者单位】:电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【关键词】:微波匹配负载 Ta N薄膜 电压驻波比 高频大功率
【基金】:教育部支撑项目(No.625010305)
【分类号】:TB383.2;TN604
【正文快照】:
引言微波匹配负载广泛应用于微波电路和组件中,起着吸收不需要的微波功率,保护系统的作用[1-2]。目前,基于厚膜技术的微波匹配负载已经广泛被使用在微波电路中,然而随着电子系统工作频率升高,厚膜技术的微波匹配负载由于趋肤效应而不能应用于更高的频率,此时基于薄膜技术的薄

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