收藏本站
《天津市电子工业协会2020年年会论文集》2020年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

区熔热场中线圈结构特性仿真分析

王彦君  李小龙  王遵义  孙健  
【摘要】:为研究高频加热线圈对单晶生长过程中热场的影响。采用有限元仿真分析方法,建立单晶在区熔炉生长的简化模型,研究线圈下台阶宽度对单晶生长前沿、温度以及应力的影响。结果表明线圈下台阶对硅单晶的中心部分影响更大。其影响规律为下台阶变宽,单晶的生长前沿更加平缓,单晶径向、轴向各点的温度以及应力减小。由于热场改变,台阶宽度为35mm时的熔体对流发生明显改变。
【作者单位】:天津中环领先材料技术有限公司
【分类号】:TN305;TP391.9

免费申请
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 涂朝阳,唐鼎元,王元康,邱闽旺,黄艺东,罗遵度;Nd~(3+)和Yb~(3+)掺杂的KGd(WO_4)_2单晶生长[J];人工晶体学报;2000年S1期
2 孙连科;马世刚;;单晶生长自动控制技术与方法[J];激光与红外;1987年04期
3 佘思明;成钧;;重掺Sb的Si单晶生长过程中熔体内Sb浓度变化规律[J];金属学报;1987年03期
4 从征;;InP单晶生长新工艺[J];激光与光电子学进展;1988年09期
5 ;超大规模集成电路技术[J];微电子学与计算机;1988年08期
6 袁多荣,刘希玲;过氯酸铵(AP)大单晶生长的研究[J];硅酸盐学报;1988年02期
7 林革,景玉梅,黄锡珉;碲化镉单晶生长和缺陷研究[J];人工晶体;1988年01期
8 史子康,梁桂金;正电子湮没参数与RAP单晶生长因素关系研究[J];人工晶体;1988年01期
9 祁鸣,王文山;在电场作用下结构调制TGS单晶生长[J];人工晶体;1988年Z1期
10 张顺兴,刘星忠,施振华;Li_2B_4O_7单晶生长与缺陷[J];人工晶体;1988年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王彦君;李小龙;王遵义;孙健;;区熔热场中线圈结构特性仿真分析[A];天津市电子工业协会2020年年会论文集[C];2020年
2 殷绍唐;万松明;张庆礼;周文平;王迪;;功能晶体熔体法生长机理研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
3 张明福;;蓝宝石单晶温场模拟与85公斤级单晶生长实践[A];第八届中国功能材料及其应用学术会议摘要[C];2013年
4 胡伟杰;张泽盛;赵萌;王文军;郭丽伟;陈小龙;;氮化铝单晶生长与p型掺杂研究[A];中国晶体学会第六届学术年会暨会员代表大会论文摘要集——多晶(粉晶)衍射分会[C];2016年
5 方海生;;大尺寸蓝宝石单晶生长过程的输运特征分析和生长过程优化[A];第十七届全国晶体生长与材料学术会议摘要集[C];2015年
6 臧竞存;谢丽艳;李晓;郭凯;刘国庆;邹玉林;吕超;;双掺饵镱钨酸钡单晶生长及宽带上转换发光[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
7 桑元华;孙德辉;王东周;刘宏;王继扬;;用于周期极化器件的LiNbO_3/LiTaO_3单晶生长及激光性能[A];第十七届全国晶体生长与材料学术会议摘要集[C];2015年
8 王冬;安立佳;石彤非;;相场方法模拟单晶生长过程的研究[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
9 王文军;王军;左思斌;陈小龙;;AlN单晶生长[A];第十六届全国晶体生长与材料学术会议论文集-11蓝宝石及衬底材料[C];2012年
10 陈小龙;倪代秦;李河清;吴星;胡伯清;;SiC单晶生长的研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 钟晋;我国在碳化硅单晶生长方面取得重大进展[N];中国有色金属报;2003年
2 刘红灿 袁晓阳;我国砷化镓单晶生长技术世界领先[N];新华每日电讯;2001年
3 刘力;砷化镓单晶生长技术进展迅速[N];中国有色金属报;2006年
4 执一;我国光伏设备取得新突破多晶硅浇铸炉等研制成功[N];中国电子报;2008年
5 徐报融媒记者 季芳;“一人一企一策”精准服务[N];徐州日报;2020年
6 ;“863”超大规模集成电路配套材料重大专项进展[N];中国电子报;2004年
7 刘力;磷化铟单晶生长技术获突破[N];中国电子报;2002年
8 本报记者 谷佳;获奖,是一个新的开始[N];黑龙江经济报;2016年
9 梁红兵;LED:强化产业链建设 细分市场大有作为[N];中国电子报;2008年
10 记者 杨红义;用好政策 使项目早日落户[N];运城日报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 伊长江;拓扑材料单晶生长及物性研究[D];中国科学院大学(中国科学院物理研究所);2019年
2 于国建;泡生法蓝宝石单晶生长及缺陷研究[D];山东大学;2014年
3 曲士昱;Nb/Nb_5Si_3复合材料基础研究[D];北京航空材料研究院;2002年
4 赵凌霄;拓扑材料单晶生长和磁电输运性质的研究[D];中国科学院大学(中国科学院物理研究所);2017年
5 原东升;微下拉设备研制、单晶生长及功能晶体TbCOB的制备和性能研究[D];山东大学;2016年
6 孙士文;碲锌镉单晶生长与晶体质量研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2014年
7 周花雪;(Li_(1-x)Fe_x)OHFe_(1-y)Se新高温超导体相图、大尺寸单晶生长与相关物性研究[D];重庆大学;2017年
8 王清波;低维自旋系统的磁性质与输运性质研究[D];浙江大学;2008年
9 彭巨擘;[D];昆明理工大学;2010年
10 叶祥熙;凝结势模型的建立与应用[D];复旦大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 付昊;基于数值模拟大尺寸磷化锗锌单晶生长稳定性研究[D];哈尔滨工业大学;2019年
2 张玉涛;静磁场晶体生长炉设计与晶体生长[D];西安工业大学;2019年
3 牟超;无限层Ca_(1-x)Sr_xCuO_2单晶生长及结构表征[D];河北师范大学;2019年
4 卢方君;过渡金属硫族化合物及过渡金属碳族化合物的单晶生长与表征[D];中国科学技术大学;2019年
5 陈宽林;有机/无机杂化钙钛矿结构甲胺卤铅单晶生长与性能表征[D];长春理工大学;2018年
6 陈征;大尺寸溴化铊单晶生长研究[D];华中科技大学;2017年
7 杨萌;Zr_(1-x)Nb_xCo_2Sn的单晶生长及拓扑半金属物性研究[D];中国科学院大学(中国科学院物理研究所);2018年
8 张兆星;大尺寸SiC单晶生长炉温场分布的研究[D];山东大学;2018年
9 吴磊;锑化镓单晶生长工艺研究[D];天津大学;2015年
10 徐方;新型激光介质的单晶生长与光谱性质[D];宁波大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026