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《天津市电子工业协会2020年年会论文集》2020年
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基于SolidWorks的复投桶小车定位解锁机构的本体设计和虚拟仿真装配

杨亮  杨国建  
【摘要】:通过对半导体行业硅料拉单晶生产工艺现状调研,讨论了目前晶棒生产工艺过程中存在的问题,分析了复投桶自动化装料过程的关键技术:复投桶小车对中定位机构、复投桶小车解锁机构、复投桶小车举升机构。利用SolidWorks软件进行零件、部装件、总装件设计,并进行了虚拟仿真装配。
【作者单位】:天津环博科技有限责任公司
【分类号】:TN305

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