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《天津市电子工业协会2020年年会论文集》2020年
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坩埚搬运设备应用研究

杨亮  王健  
【摘要】:随着自动化技术的快速发展,自动化设备已经被大多企业广泛的应用到生产实际过程中,自动化设备对企业提升劳动生产效率,降低人工成本,增加企业的经济效益起到积极的推动作用。本文主要介绍了半导体行业生产加工过程中一道工序的坩埚自动化搬运设备,该坩埚自动化搬运设备主要包括X轴和Z轴移栽机构,坩埚夹爪机构,坩埚车定位机构,坩埚箱体定位机构。
【作者单位】:天津环博科技有限责任公司
【分类号】:TN305

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