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一种结合金属点阵的新型行波模式声表面波陀螺仪

邵秀婷  王文  何世堂  
【摘要】:由于哥氏力的作用非常微弱,现有的声表面波(SAW)陀螺仪的检测灵敏度极低。本文研制了一种结合金属点阵的新型行波模式声表面波陀螺仪,并对其性能进行了实验验证,得到了较高的检测灵敏度。该结构由一对平行且反向设置的延迟线振荡器以及分布于其声表面波传输路径上的金点阵构成,以X-112°Y LiTaO_3为压电基片,并用具有梳状结构的单相单向叉指换能器(SPUDT)来改善振荡器的频率稳定度,其操作频率为80MHz。金点阵用以增强声表面波陀螺效应,提高检测灵敏度。用精确速率转台对所研制的SAW陀螺仪的性能进行了实验验证,得到了45Hz/(deg/s)的检测灵敏度。

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