收藏本站
《2010年西部光子学学术会议摘要集》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

高帧速采样外差干涉微位移测量

冯庆玉  彭首军  龚胜平  
【摘要】:外差干涉仪相对于单频干涉仪有精度高,抗干扰能力强等优点,在微位移检测中应用广泛。本文主要探讨如何提高外差干涉微位移测量的精度。首先从干涉原理出发导出测量公式,表明位相细分是提高精度的直接手段。然后从非线性误差校正、高阶项舍去、激光稳频性及位相细分几个角度分析了影响测量精度的误差来源以及目前采取的减小及避免误差主要措施,指出现有主流解决方案的不足之处。光学高速摄像发展使得从高速采样的角度细分位相成为可能,可以有效避免非线性误差,位相分辨率提高正比于采样速度的提高,于是本文提出将高帧速采样应用于外差干涉,提高其测量精度的方法。在测试过程中,在待测工件匀速运动情况下,采用拍摄速率高达6,242幅/秒的PhantomV12.1超高速数字摄像机对相应外差干涉图像采样,由干涉图像的光强灰度分布计算任意采样位移处干涉图样与初始位移处干涉图样的相关系数。任意相邻相关系数峰值对应一个位移周期λ/2,位相差为π/2,采样点数为m,位移及位相分辨率分别为λ/2m、π/2m。而后探讨采样的等间隔误差及变速运动对位移测量误差的影响,结果表明提高采样帧速对外差干涉位移测量精度的提高及误差的减小有显著效果,可行性好。但该方法存在数据处理量大的问题,对高阶项舍去、加速度过大引起的测量误差也不能避免。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 冯庆玉;彭首军;龚胜平;;外差干涉高帧速采样微位移的测量及误差分析[J];西安工业大学学报;2011年03期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前7条
1 冯庆玉;彭首军;龚胜平;;高帧速采样外差干涉微位移测量[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
2 廖小华;葛杨翔;李玉和;李庆祥;;超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
3 陈绍光;;测量真空中单向光速的方法[A];中国地球物理学会第22届年会论文集[C];2006年
4 马雪红;时小军;胡仲翔;;表面微观形貌测量技术研究概述[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
5 马雪红;时小军;胡仲翔;;表面微观形貌测量技术研究概述[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
6 费丰;王宁;刘涛;;高速光电探测器带宽测试技术研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
7 刘晨;;光纤温度传感器[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 柳忠尧;用于掩模板表面形貌测量的外差干涉显微系统的研究[D];清华大学;2004年
2 邓元龙;外差干涉椭圆偏振测量的理论与实验研究[D];天津大学;2007年
3 施纯峥;基于宽谱光源的光纤布喇格光栅传感器解调技术的研究[D];清华大学;2004年
4 毛献辉;环形干涉光纤传感器若干关键问题研究[D];清华大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范志军;中频差双频激光干涉测量系统的初步研究[D];清华大学;2004年
2 雷菁;543nm绿光氦氖激光器的塞曼稳频及其在双频干涉仪中的应用[D];清华大学;2009年
3 刘琼;激光振动目标识别技术研究[D];西安电子科技大学;2008年
4 马丽芳;检测激光超声的线偏振光外差干涉系统设计[D];天津大学;2007年
5 岳兆阳;对称共路外差干涉磁头飞行高度测量系统的研究[D];清华大学;2006年
6 孟雪;激光多普勒干涉振动测量技术的研究[D];长春理工大学;2012年
7 张蕊;磁头飞行姿态测量系统的研究[D];清华大学;2004年
8 邓彦;时间序列散斑面内位移测量技术的研究[D];北京交通大学;2011年
9 王国超;双波长单光栅大量程纳米级位移测量方法的研究[D];国防科学技术大学;2010年
10 陈筱磊;时域散斑干涉测量技术的研究[D];北京交通大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026