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《首届七省区市机械工程学会科技论坛论文集》2005年
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真空电弧源镀制TiO_2薄膜研究

周友苏  张立珊  
【摘要】:在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了TiO2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究。X射线衍射结构分析结果显示TiO2薄膜主要以锐钛矿相为主及少量的金红石相。对TiO2薄膜的物理性质、化学性质进行了初步检测。
【作者单位】:北京联合大学机电学院 北京联合大学机电学院
【分类号】:TG174

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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