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《天津市色谱研究会第一届学术报告会论文、报告(摘要)汇集》1980年
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高纯四氯化硅中光气的色谱分析

吴经昌  
【摘要】:正本文拟订了应用电子捕获鉴定器测定高纯四氯化硅中光气含量的气相色谱分析方法。结合间歇精馏工艺,对各馏份四氯化硅中光气含量进行检测以确定其精馏效率。方法检测极限为1×106体积%。
【作者单位】:天津市半导体技术研究所
【分类号】:O657.7

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