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《制造技术自动化学术会议论文集》2004年
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掩膜立体成型中平行光边缘衍射问题分析

朱庆  于殿泓  
【摘要】:利用Matlab对菲涅尔平行光直边衍射问题作定量的分析,计算了幕上直边挡板边缘处的相对光强,定量分析了在阴影区域的光衍射,计算了衍射光能到达阴影处的极限坐标.还详细的分析了屏上的相对光强分布,以及光强的走势,并且:主重分析了复色光的边缘衍射问题.利用Mtable 对菲涅尔积分的处理推广了科纽卷线的应用,而对复色光边缘衍射问题的研究则实现了衍射光在边缘处的光强的大致平均分布,为其他衍射问题的边缘分析提供了一种新的思路.

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