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气相沉积制备硬质薄膜技术及其工业应用

马胜利  
【摘要】:本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势、进展及其在工模具领域的应用。

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