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《2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集》 2007年
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ESD应力下的电阻特性研究

路香香  罗宏伟  姚若河  
【摘要】:随着集成电路的尺寸越来越小,其对静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)也变得越来越敏感,而电阻在 ESD 保护电路中可以起到隔离和分压的作用.本文主要对 ESD 应力下的扩散电阻的四个区域:线性区,饱和区,负微分电阻区和二次击穿区的模型作了简单的分析,并通过 TLP 的实验对这几个区域进行了对比分析,着重讲述了二次击穿区即热击穿区的电阻特性.

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