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《第八届全国摩擦学大会论文集》2007年
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类金刚石薄膜的摩擦化学研究

王成兵  张俊彦  
【摘要】:利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜。在球-盘摩擦磨损试验机上考察了湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和 X 射线光电子能谱观察和分析了摩擦表面形貌和化学状态的变化情况。结果表明,随着湿度的增加,DLC 薄膜的摩擦系数和磨损率都增加。这主要是由于薄膜表面氧化作用所致。

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