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《2006年全国电子显微学会议论文集》2006年
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纳米长度测量的标准化研究

盛克平  何宝林  杨伟浩  
【摘要】:正本文从纳米测量的标准化文件、标准物质、测量不确定度的评定三个方面简述了有关纳米长度测量方法的标准化概况及国内外的进展。 1 纳米测量的标准化文件在纳米长度测量方面,目前使用比较重要的仪器和相应的标准文件如表1。

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