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刘红飞;张志萍;程晓农;;射频磁控溅射ZrW_2O_8薄膜的高温退火研究[J];稀有金属材料与工程;2009年07期 |
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韩增虎,田家万,戴嘉维,张慧娟,李戈扬;磁控溅射CrN_x薄膜的制备与力学性能[J];功能材料;2002年05期 |
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