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《第五届全国STM学术会议论文集》 1998年
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三维一体化超微定位系统的研制

胡小唐  禹国强  刘安伟  杨勇  
【摘要】:本文设计并研制了以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的三维一体化超微定位机构, 并以激光干涉仪微位移检测装置和微机控制系统构成了数字闭环控制的三维一体化超微定位系统。

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