收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

SIMOX上外延层的TEM研究

倪如山  朱文化  林成鲁  
【摘要】:正 氧注入隔离(SIMOX:Separation by IMplanted OXygen)是绝缘层上形成单晶硅(SOI:Silicon onInsulator)结构的最有前途的技术。制备工艺简单,可获得绝缘层上高质量的单晶硅膜。由于SIMOX衬底与体材料硅相比有许多潜在的优点,如有较高的开关速度、较强的抗辐照能力和避免闭锁效应等,正受到人们越来越多的关注。SIMOX衬底上分子束外延生长GaAs或Si/Ge_(0.5)Si_(0.5)应变层超晶格薄膜,具有异质外延材料和SIMOX的全部优点。可把GaAs光电器件和硅集成电路集成在一块芯片上。SIMOX中氧化物埋层由氧离子注入单晶硅形成,注入能量为200kev,剂量为1.8×10~_(18)/cm~2。注入后试样在1300C干氮气氛中退火6小时,然后在SIMOX

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 唐元洪;裴立宅;;硅纳米管的理论及制备研究进展[J];材料导报;2009年23期
2 柳襄怀,林成鲁,陈朝荣,李天胜,赵克萱,徐惠定,段大娟,吴恒显;溅射沉积无定形硅薄膜的激光外延研究[J];自然杂志;1980年11期
3 周亮,姚英学,SHAHJADA A P;纳米压痕硬度尺寸效应的残余面积最大压深模型[J];硅酸盐学报;2005年07期
4 李德刚;梁迎春;白清顺;;单晶硅各向异性力学性能纳米压痕实验研究[J];航空精密制造技术;2008年02期
5 李卓谡;赵玉洁;贾晓娜;;单晶硅与单晶铜的微摩擦性能比较[J];机械管理开发;2008年02期
6 孟庆森;秦会峰;宋永刚;;功能陶瓷(玻璃)与金属材料阳极键合的机理研究及应用进展[J];功能材料信息;2005年04期
7 周亮;姚英学;刘琦;;基于能量平衡方法的压痕尺寸效应分析[J];硅酸盐学报;2007年11期
8 朱鹏;幸研;易红;;基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析[J];传感技术学报;2007年12期
9 郝兰众,李燕,邓宏,刘云杰,姬洪,张鹰;LaAlO_3/BaTiO_3超晶格薄膜的生长及结构分析[J];功能材料;2005年03期
10 贾有权,Yuri.A.Rodionov,王银燕;单晶硅力学性质探索[J];天津大学学报;1987年02期
11 陈小群;;无ECP附件在X-650扫描电镜上实现电子通道花样的技术[J];中南大学学报(自然科学版);1993年01期
12 ;专利信息[J];稀有金属快报;2006年04期
13 穆武第;程海峰;陈朝辉;唐耿平;吴志桥;;粗糙界面对Bi_2Te_3/PbTe超晶格热电优值影响的理论分析[J];物理学报;2009年02期
14 胡瀚;陈敏华;陈云飞;;基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析[J];传感技术学报;2006年05期
15 谭援强;杨冬民;李才;盛勇;;单晶硅加工裂纹的离散元仿真研究[J];中国机械工程;2008年21期
16 吉元;王丽;张隐奇;卫斌;索红莉;王建宏;程艳玲;;纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析[J];电子显微学报;2010年04期
17 周健伟;尚德广;刘小冬;柳会;;单晶硅微薄膜V形缺口疲劳特性研究[J];机械强度;2010年05期
18 李宁,宋绪丁;超硬多层薄膜的研究现状及展望[J];材料保护;2005年07期
19 郝兰众;李燕;邓宏;刘云杰;姬洪;;LaAlO_3/BaTiO_3超晶格薄膜界面结构分析[J];材料导报;2005年02期
20 刘云杰;郝兰众;李燕;邓宏;;LaAlO_3顶层结构对LaAlO_3-BaTiO_3铁电超晶格薄膜性能的影响[J];材料导报;2007年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 倪如山;朱文化;林成鲁;;SIMOX上外延层的TEM研究[A];第七次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1993年
2 余家欣;余丙军;钱林茂;;单晶硅的切向纳动研究[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
3 余家欣;钱林茂;;单晶硅的切向纳动研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
4 倪如山;林成鲁;;离子注入形成SOI材料的XTEM分析[A];第六次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1990年
5 倪如山;朱文化;林成鲁;;SIMOX上Si/Ge_(0.5)Si_(0.5)超晶格的TEM分析[A];海峡两岸电子显微学研讨会论文专集[C];1992年
6 张吉英;张振中;单崇新;钟国柱;刘益春;申德振;;等离子体协助的ZnS:Mn外延层生长及其电致发光[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 张振中;申德振;单崇新;张吉英;吕有明;范希武;;衬底温度对Cd_xZn_(1-x)Te外延层中Cd组分含量的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
8 郝兰众;李燕;刘云杰;邓宏;;铁电超晶格薄膜[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 胡雨生;胡福义;李爱珍;诸幼令;;MBE—GaAs/Si材料晶体质量对少子扩散长度的影响[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
10 张志明;李胜华;蔡琪玉;陈惠明;庄志城;林栋梁;葛传珍;胡正伟;蒋树声;闵乃本;;微波PCVD法同质外延金刚石单晶薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王岩;Fe注入α-Al_2O_3、Co注入单晶硅注入态与退火态的微结构研究[D];大连理工大学;2008年
2 郑冀;纳米掺杂AgSnO_2电触头材料及其单晶硅类流态结构的研究[D];天津大学;2004年
3 戴江南;ZnO薄膜的常压MOCVD生长及掺杂研究[D];南昌大学;2007年
4 杜玙璠;红外微波兼容材料的制备及性能研究[D];北京交通大学;2010年
5 李红;超导隧道结的理论研究[D];中国石油大学;2007年
6 张兴业;半导体表面化学修饰方法及其光电性质的研究[D];中国科学院研究生院(化学研究所);2009年
7 唐海平;ZnO纳米材料的制备、物性及场发射原型器件研究[D];浙江大学;2006年
8 厉彦忠;超导线及其多孔涂层在超流液氦内的传热性能[D];西安交通大学;1995年
9 雷永明;碳化硅薄膜材料及其在高温传感器件中的应用[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
10 马飞;低维金属晶体微结构与力学性能的变异性研究[D];西安交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐赟瑜;直拉法单晶硅熔体内热量、动量及质量输运的数值模拟[D];重庆大学;2009年
2 肖鹏;单晶硅纳米薄膜面向热导率的分子动力学模拟[D];清华大学;2004年
3 武晓培;溶胶—凝胶技术制备减反射薄膜的研究[D];浙江大学;2005年
4 郑畅达;ZnO薄膜材料的常压MOCVD生长和性能研究[D];南昌大学;2005年
5 肖祁陵;利用高分辨X射线衍射仪表征GaN/Al_2O_3薄膜结构特性[D];南昌大学;2006年
6 高燕;真空热蒸发法制备纳米二氧化钛薄膜及稀土Ce_2O_3掺杂[D];内蒙古大学;2006年
7 孙伟峰;UHV/CVD外延生长硅及锗硅单晶薄膜[D];浙江大学;2005年
8 刘晶石;低能硅富勒烯团簇在硅表面沉积的分子动力学研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 范开果;激光干涉法测量材料线膨胀系数的实验研究[D];北京工业大学;2007年
10 刘晓平;高效HIT非晶硅/单晶硅太阳电池中透明导电膜的研究[D];河北工业大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 ;层出不穷的新材料[N];中国有色金属报;2004年
2 ;掺杂钛酸锶和掺杂镧锰氧巨磁阻器件[N];中国有色金属报;2004年
3 ;具有连接端子的碳纤维线[N];中国有色金属报;2004年
4 吕彦杰 张竟安;炭/炭复合材料研究有新突破[N];中国冶金报;2004年
5 李国兴;内蒙古硅材料研发中心成立[N];中国航天报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978