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一种新的碳蒸金样品

陆亚伟  李启珍  王有德  
【摘要】:正 本文介绍一种新制作的碳蒸金样品。它与文献所介绍的专门用于检测一百埃以内扫描电镜分辨本领的碳蒸金样品不同,此样品具有从数十埃至数百埃不同缝隙宽度的金颗粒,可用于检测各种扫描电镜的分辨本领。该样品除上述特点以外,与银网样品和磁带样品比较,还具有许多优点。如:金颗粒大、讯号强、轮廓清楚、边缘整齐、缝隙多、易聚焦等,能够得到高信噪比的清晰图象,适合于鉴定各种等级的扫描电镜的分辨本领。这种碳蒸金样品能在普通的真空蒸发台中制作。在制作过程中,首先利用碳片的自身电阻进行电加热,然后将金蒸发在碳片上得到金样品,为了控制金颗粒的大小,应该控制碳片温度和金膜的厚度。金膜厚度一般在400埃左右,厚度采取计算被蒸金丝的体积的方法,不采取测量蒸金质量的方法进行计算。通过实验还证明:这些在碳片上得到的金颗粒是被熔化的液相和气相金在碳片上再结晶的产物,并不是金膜与碳片在温度改变时,由于金膜与衬底的膨胀系数不同而造成的裂缝。

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