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《上海市制冷学会二○○一年学术年会论文集》2001年
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微电子洁净厂房的送风模式

沈晋明  
【摘要】:本文分析了洁净厂房的三种主要送风模式,指出近年来在我国大量采用的风机过滤器机组的模式未必最佳,如果不是根据具体情况合理选择,而是盲目跟从,势必给投资、运行和管理带来负面影响。
【作者单位】:同济大学热能工程系
【分类号】:TU834

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【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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【二级引证文献】
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【相似文献】
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