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《上海市制冷学会二○○一年学术年会论文集》2001年
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SMIF/微环境中气流的数值模拟

胡雨燕  徐文华  
【摘要】:SMIF/微环境是应IC产品集成度不断提高而发展起来的新技术。由于其工艺复杂,造价昂贵,所以在设计时有必要对其运行性能加以预测。本文运用CFD技术预测其内部气流流场,为SMIF装置的设计制造及运行提供理论依据。
【作者单位】:同济大学热能工程系 同济大学热能工程系
【分类号】:TU834.8

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 王毅勃,王唯国;超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测[J];洁净与空调技术;1998年03期
2 林耀泽;微环境技术述评[J];微电子技术;1996年01期
【共引文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 胡雨燕;徐文华;;SMIF/微环境中气流的数值模拟[A];全国暖通空调制冷2002年学术年会论文集[C];2002年
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1 韩何;垂直单向流洁净室气流的数值模拟与分析[D];同济大学;2007年
2 梁家富;工业洁净室的微环境气流组织模拟[D];华中科技大学;2006年
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1 戚美;倪刚;谭龙海;;SCF型湿式除尘风机的改进设计研究[J];煤矿机械;2010年07期
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4 刘毅;蒋仲安;蔡卫;周凤增;郭达;刘保东;;综采工作面粉尘浓度分布的现场实测与数值模拟[J];煤炭科学技术;2006年04期
5 王琦;钟珂;;通风系统风量分配器性能的数值模拟[J];制冷空调与电力机械;2006年03期
6 温瑞智;公茂盛;谢礼立;;海啸预警系统及我国海啸减灾任务[J];自然灾害学报;2006年03期
7 陈天石;胡双启;;可燃气体爆炸发生过程研究进展[J];科技情报开发与经济;2006年17期
8 李小东;刘庆明;白春华;蒋丽;;管道中瓦斯爆炸超压场的数值模拟[J];煤矿安全;2008年01期
9 夏青;杨圣林;;排烟量对室内火灾轰燃的影响[J];消防科学与技术;2008年03期
10 朱小俊;杨志青;王东涛;王凤良;;船舶火灾研究综述[J];消防科学与技术;2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 胡雨燕;徐文华;;SMIF/微环境中气流的数值模拟[A];上海市制冷学会二○○一年学术年会论文集[C];2001年
2 满孝新;高甫生;陈之曰;冯宝岳;;高大洁净厂房洁净分层空调气流的数值模拟[A];全国暖通空调制冷1998年学术年会论文集(2)[C];1998年
3 杨春信;袁修干;徐向东;;操作空间环境的实验研究与数值模拟[A];第一届全国人—机—环境系统工程学术会议论文集[C];1993年
4 龚光彩;李红祥;韩冰;;风压作用下的自然通风量计算方法探讨[A];全国暖通空调制冷2006年学术年会论文集[C];2006年
5 李保群;康侍民;郑萍;;自然通风条件下对室内温度场的模拟研究[A];2007年山东省制冷空调学术年会论文集[C];2007年
6 朱伟;马英楠;易亮;;典型商业街区安全隐患调查及分析[A];中国职业安全健康协会2009年学术年会论文集[C];2009年
7 代宝乾;汪彤;陈娅;;北京地铁大客流安全问题分析及对策研究[A];中国职业安全健康协会2009年学术年会论文集[C];2009年
8 邓军;罗振敏;王华;炎正馨;;瓦斯多元气体爆炸的特性与阻爆研究[A];中国职业安全健康协会2009年学术年会论文集[C];2009年
9 万蓉;王智伟;;地下电站高大厂房气流组织数值模拟[A];全国暖通空调制冷2004年学术年会资料摘要集(1)[C];2004年
10 刘晓丽;王恩志;;某井田水体下开采过程中地下水渗流模拟及涌水量预测[A];第九届全国渗流力学学术讨论会论文集(二)[C];2007年
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1 林之光;我国的地形性雪灾[N];中国气象报;2006年
2 刘开宇;山区飞行的“隐形杀手”——山地波[N];中国气象报;2004年
3 本版编辑 温图 左军;火车疾驰而过 气流掀飞工人[N];中国安全生产报;2007年
4 王艳艳 苑希民;防洪减灾中的洪灾损失评估[N];中国水利报;2004年
5 洪波;冬季飞行话安全[N];中国民航报;2007年
6 王瑾 顾正波;上海台风所“九五”重大项目通过鉴定[N];中国气象报;2004年
7 本报记者 徐峙;控制地面沉降,路还很长[N];地质勘查导报;2005年
8 江南;邱光华战友详解直升机高难度救援[N];第一财经日报;2008年
9 ;机场上空飘来的安全隐患[N];中国民航报;2009年
10 沈所;科技部项目《火灾烟参数成套测量仪器改造》通过验收[N];人民公安报·消防周刊;2008年
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1 徐景德;矿井瓦斯爆炸冲击波传播规律及影响因素的研究[D];中国矿业大学(北京);2003年
2 王从陆;非灾变时期金属矿复杂矿井通风系统稳定性及数值模拟研究[D];中南大学;2007年
3 秦汝祥;高瓦斯高产工作面立体“W”型空气动力学系统研究[D];安徽理工大学;2008年
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8 李子林;大采深条件下徐、奥灰突水机理及防治技术研究[D];山东科技大学;2007年
9 梁运培;高压水射流钻孔破煤机理研究[D];山东科技大学;2007年
10 周刚;综放工作面喷雾降尘理论及工艺技术研究[D];山东科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾云飞;室内可燃气体泄露过程的研究[D];河北工业大学;2004年
2 李重情;高瓦斯突出煤层快速揭煤方法研究[D];安徽理工大学;2006年
3 孙宝亮;大宝鼎4号煤层露头火灾的数值模拟及应用[D];西安科技大学;2008年
4 杨高飞;矿井围岩与风流热湿交换规律的实验与模拟研究[D];天津大学;2008年
5 苗青;可燃气体泄漏的着火过程及蔓延机理的研究[D];河北工业大学;2005年
6 董国文;祁东煤矿开采煤层上覆岩土体工程地质特征与突水溃砂机理研究[D];安徽理工大学;2006年
7 汪长明;地面钻孔抽采条件下半封闭采空区瓦斯运移及分布规律研究[D];煤炭科学研究总院;2007年
8 卢兴利;断层防水煤柱合理留设的流固耦合分析[D];山东科技大学;2007年
9 董英爽;室内外环境因素影响下的办公建筑自然通风的节能潜力[D];长安大学;2009年
10 李艳增;望峰岗矿巷道穿采空区自燃预测与控制研究[D];西安科技大学;2009年
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