收藏本站
《上海市激光学会2005年学术年会论文集》 2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

电子束蒸发镀膜膜厚均匀性研究

毕军  易葵  于洪文  
【摘要】:讨论了影响电子束蒸发镀膜厚度均均匀性的因素,提出了一种确定膜料蒸发特性的方法。并针对平面旋转夹具分析了夹具高度以及蒸发源与真空室中心轴距离对光学薄膜厚度均匀性的影响。引进了修正挡板函数,提出了一种设计修正挡板的方式来解决光学薄膜厚度均匀性问题。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 史玉苓,徐成,韦春才;圆光栅副的系统误差分析[J];沈阳工业大学学报;1997年01期
2 ;200型1:1投影曝光机[J];电子工业专用设备;1979年03期
3 伊红晶;壮凌;檀慧明;;测量瓦级激光的光电型功率计的研制[J];激光与红外;2006年07期
4 吴小平,周起勃,邬敏呜,匡定波;红外焦平面凝视热成像系统评估方法研究[J];红外与毫米波学报;1993年04期
5 苏东风;续志军;韩旭东;;复制高精度大光栅盘时支撑板的力学分析[J];中国光学与应用光学;2008年Z1期
6 史玉苓,徐成,谢军;高分辨率、增量式光电编码器[J];仪表技术与传感器;1995年03期
7 余湛;马浩统;杜少军;;基于模拟退火算法的自适应近场光束整形[J];光学学报;2011年03期
8 黄惠杰,邹海兴;高斯光束一维强度均匀化的新方法[J];激光杂志;1996年01期
9 李建林;混合式红外焦平面阵列互连铟凸点几何尺寸的优化设计[J];红外技术;2000年03期
10 余光清,刘恩海,郝永杰;误差综合测量的数字化码检仪[J];光电工程;2002年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 谢丹;微光学器件的气动膜片式微滴喷射制造技术研究[D];华中科技大学;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978