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用于光干涉图像处理的相位解包新方法

万文博  苏俊宏  杨利红  徐均琪  
【摘要】:干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过数字图像算法编制软件处理,从而实现对薄膜样片厚度的自动化测量。本文基于二维FFT法的基本原理提出了一种新的相位解包算法,该算法通过识别一个种子点,然后依次向相邻四点扩展,再把这四个点作为第二批种子点,依次向各自的四点邻域扩展,以菱形轨迹遍历所有的有效信息点,以到达整个图象的相位解包。结果表明:用该算法处理软件所测一薄膜的厚度为98.01nm,用ZYGO干涉仪测量同一样片进行对比,其厚度为97.39nm。运用这种新算法虽然处理的是单幅干涉图但可以得到高精度的相位分布。

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