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《'99十一省(市)光学学术会议论文集》1999年
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采用光象散法测控微位置度的实验研究

杨国成  
【摘要】:本文介绍一种利用光象散法测控微位置度的新技术,由该技术构成的象散型光电微位置度传感器和后处理电路的组合,能实现对物体微位置度的自动测量与控制。
【作者单位】:华侨大学
【分类号】:O435.2

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