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椭偏光谱的发展与应用

莫党  
【摘要】:正椭偏光谱术是一种以椭圆偏振光测量为基础的光谱技术。由于计算机技术的进步(椭偏光谱术的数据处理一般需要使用计算机),椭偏光谱术近年来有了较大发展,其应用范围逐步扩大到物理、化学、材料科学、微电子技术、薄膜技术、电化学、生物学、医学等。椭偏光谱术的特点:一是有原子层的灵敏度,适宜于研究表面与界面;二是它能同时测得复数光学常数的实部和虚部,提供更多的信息以便分析被测对象。现在它已能测量和分析多层膜、纵向不均匀分布样品、多组元材料等许多复杂体系。此外,椭偏光谱仪器也有较大发展,在波长范围上也有进展,已扩展到红外及远红外、真空紫外波段。

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