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电镀铜组织结构及其后续加工性能

程凡雄  付海涛  方军良  
【摘要】：本文研究了电镀铜层组织结构及其在典型后续加工工序的性能,揭示了铜层的腐蚀特性和机制。结果表明,电镀铜层的晶粒组织是影响表面形貌的关键结构因素,不同的后续加工溶液依据腐蚀机制而具有或者不具有结构敏感性。只有在具有结构敏感性的腐蚀溶液中,不同的晶粒组织会导致不同的腐蚀形貌,从而影响后续加工性能,导致组织结构相关的品质问题。

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