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《2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会论文集》2009年
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微结构电铸过程分析与模拟

陈晖  汪红  李光杨  王艳  姚锦元  丁桂甫  
【摘要】:针对MEMS微加工中常见的深宽比较高掩膜电镀工艺,利用经典B-V模型推导出电流-过电势公式,并就物质传递方程与电化学过程的复合作用从理论上进行了分析。同时采用成熟的流体分析软件针对微结构电铸成型中存在的镀层不均匀现象进行了初步模拟,结果显示,对流-扩散影响传质过程的进行,造成表面浓度分布不均匀;微结构几何形状造成等位线弯曲,从而使得阴极表面各处电流密度不同,形成了掩膜电镀成型不均匀的现象。

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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王毓麟,王淑霞,贾伟;镀铬对0Cr13Ni4Mo钢疲劳强度的影响[J];兵器材料科学与工程;2002年02期
2 张博军,赵湛,陈绍凤;MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 张国祥;李怀学;张坤;陈光南;罗耕星;;初始镀铬层微裂纹形貌的基体化学腐蚀法研究[J];中国表面工程;2006年04期
4 宋博,隋智通,翁占坤,肖作江,龚晓辉,刘慎中;提高铝合金上电镀镍层结合强度的研究[J];表面技术;2003年01期
5 匡建新,汪新衡;Ni-P-B_4C复合电刷镀工艺研究[J];常德师范学院学报(自然科学版);2001年02期
6 王酉;徐惠;李光;;基于碳纳米管修饰丝网印刷碳糊电极的葡萄糖和尿酸生物传感器[J];传感技术学报;2006年05期
7 朱立群,潘波;电沉积结晶形态研究进展[J];材料保护;2004年09期
8 张友寿,张增璞,贾昌申;45号钢、不锈钢、铝合金的电镀连接[J];材料导报;1999年01期
9 王伊卿,唐一平,赵文轸,卢秉恒;电铸与电弧喷涂相结合的模具制造方法[J];材料工程;2001年06期
10 赵阳培,黄因慧;电沉积纳米晶材料的研究进展[J];材料科学与工程;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 朱增伟;朱荻;李冬林;;回转体薄壁零件电铸基础研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
2 李海滨;许茜;胡小峰;马青梅;任东琦;;熔盐电脱氧法制备铌影响因素的研究[A];2006年全国冶金物理化学学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 潘秉锁;稀土对提高电镀金刚石钻头性能的研究[D];中国地质大学;2003年
2 赵阳培;射流电铸快速成型纳米晶铜工艺基础研究[D];南京航空航天大学;2005年
3 黄承敏;等离子浸没注入和多弧离子镀对纯钛及钛合金表面改性的基础研究[D];四川大学;2004年
4 乔桂英;块体纳米晶Co-Ni合金的JED制备及其结构性能的研究[D];燕山大学;2006年
5 罗永春;稀土系过化学计量比AB_(5+x)无钴储氢合金电极材料研究[D];兰州理工大学;2005年
6 鲍怀谦;超纯水微细电解加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
7 徐桂云;DNA电化学传感器的制备及其在转基因植物产品检测中的应用[D];中国海洋大学;2007年
8 王剑莉;表面改性铁基合金的电化学性能研究[D];大连海事大学;2007年
9 黄菲;抗精神病类药物电化学传感器研究[D];复旦大学;2007年
10 谢少艾;基于环境友好液/液界面体系的重金属检测新方法的研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吕玮;从三价铬镀液中电沉积非晶态铁铬合金镀层的研究[D];福建师范大学;2002年
2 于金库;提高连铸机结晶器耐磨性Ni-Fe合金单层电镀技术的研究[D];河北师范大学;2002年
3 黄芹华;稀土元素介入化学沉积钴基软磁薄膜的研究[D];合肥工业大学;2002年
4 李玉;碱性介质中六价铬的电化学还原研究[D];郑州大学;2003年
5 付强;Ni-P基化学镀在防腐蚀方面的研究[D];大连理工大学;2003年
6 韩东生;喷射电沉积纳米晶镍的阴极极化行为及其微观组织结构[D];燕山大学;2004年
7 李付绍;水溶液中电沉积Zn-Ni-RE合金的工艺研究及机理分析[D];昆明理工大学;2004年
8 江山;纳米晶镍镀层的制备及其界面扩散与结构[D];湘潭大学;2004年
9 韩清刚;螺旋槽微极性液体润滑径向轴承动力特性与稳定性分析[D];华中科技大学;2004年
10 王彪;银—镀铜石墨复合材料的制备及测试[D];合肥工业大学;2005年
【二级参考文献】
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1 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
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