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《2005年上海市电镀与表面精饰学术年会论文集》 2005年
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ULSI铜互连中的电沉积铜的研究动态

张炜  成旦红  王建泳  郁祖湛  
【摘要】:超大规模集成(Ultralarge-Scale Integration,ULSI)铜互连的大马士革结构中的铜电沉积技术是 ULSI 铜互连的关键技术之一.本文将就该技术涉及的镀液组成、脉冲电流的应用、电沉积装置和电沉积铜性能等方面。介绍目前 ULSI 铜互连中铜电沉积技术的研究状况。

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