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ICP-MS分析气体中的金属元素

陈鹰  姜阳  周朋云  
【摘要】:本文结合ICP-MS分析方法国标的制定,对电子工业气体中的金属元素进行分析。本文探讨了各类气体的处理方式,分析方法的原理、步骤。

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