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非晶硅薄膜激光退火的研究

徐二明  梁二军  
【摘要】:正薄膜晶体管(Thin Film Transistor:TFT)寻址的液晶显示器(Liquid Crystal Display;LCD)其高品质的彩色视频显示已成为目前信息显示领域的主导技术和研究开发热点。随着 TFT LCD 向大容量和高清晰度发展,TFT 及像素尺寸越来越小,并且要求 TFT 具有更高的充电能力。同时为解决高密

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