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《第八届全国X射线衍射学术会议论文集》2003年
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探索在普通衍射仪上分析薄膜的途径

姬洪  
【摘要】:正引言众所周知,薄膜性能依赖于材料的微结构。因此,人们采用各种先进的手段来表征薄膜的微结构。在探索薄膜工艺与结构之间关系的过程中,X 射线衍射(XRD)分析起着独特的作用。例如应用 XRD 中Φ扫描、摇摆曲线(XRC)等测量方法研究沉积在 LaAl0_3单晶衬底上的 YBCO 高温超导薄膜的结晶完整性。大量的研究结果表明,近似单晶 YBCO 薄膜可以获得液
【作者单位】:电子科技大学材料分析中心
【分类号】:O484

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