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《西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集》2000年
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微电子技术在惯性技术领域中的应用

张巧云  
【摘要】:正目前,战术导弹、智能导弹及无人驾驶飞机等现代武器装备中迫切需要体积小、成本低、中等精度的惯性器件,传统的惯性器件由于体积大、成本高而不能满足要求,利用源于半导体集成电路制作工艺的微电子加工技术来加工惯性器件,可以实现批量生产,正好可以克服传统惯性器件的缺点.由于人们对硅的认识很深刻,许多文献报道的微机械器件都是做在硅片上的.事实上,适合于微加工的材料并不仅限于硅,其他许多材料也适合制作特殊的微型器件,石英晶体就是其中的一种.本文主要介绍石英微机械振动陀螺的加工技术和实验结果.
【作者单位】:信息产业部电子26所
【分类号】:TN405

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