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简易微型惯性测量组合技术及其应用

张文栋  李永红  刘俊  董海峰  
【摘要】:正微型惯性测量组合(MIMU)是由微机械加速度计、微机械陀螺和/或其它微机械传感器以及后续信号检测、处理、采集、存储或发送电路组成的集成一体化惯性测量模块.本文简要介绍了微型惯性测量组合(MIMU)的基本组成、发展与现状,包括微型加速度计、微型陀螺的基本加工工艺,各类特征结构以及应用情况.MEMS传感器是微型惯性测量组合(MIMU)的基本组成部分,通常采用硅微加工工艺来进行加工,在MIMU中所采用的MEMS传感器以微型加速度

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