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扫描探针声显微术和压电响应力显微术

钱梦騄  程茜  柯微娜  
【摘要】:正1引言随着当代科学技术的高速发展,迫切需要开展微米--纳米的材料和结构的无损评估。在扫描探针声显微镜基础上发展形成的扫描探针声显微镜(SPAM)和压电响应力显微镜(PFM),可以实现

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