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《中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编》2001年
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微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)

周兆英  袁松梅  
【摘要】:正 概述微型机电系统的概念、发展与技术特点、基础研究、应用和产业化的问题,包括制造革新、系统集成、学科交叉和新机理研究方面.简要介绍有价值的成果,如:阀、泵、喷、光开关、毛细管电泳芯片、微惯性器件、微飞行器等.纳米科学技术被认为是面向21世纪的新科技,它强调“小尺度”和“新性质”两个基本的特征.它将可能导致信息、能源、制造、环境、农业、医疗、航天、国防等方面的“革命性”的变化,因此受到各国政府的广泛重视.随着纳米科学技术的发展,NEMS(纳机电系统)的研究,特别是NEMS发展的重点、基础和创新开始引起广泛的重视.概述了
【作者单位】:北京清华大学 北京清华大学
【分类号】:TH703

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