微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)

【摘要】：正概述微型机电系统的概念、发展与技术特点、基础研究、应用和产业化的问题,包括制造革新、系统集成、学科交叉和新机理研究方面.简要介绍有价值的成果,如:阀、泵、喷、光开关、毛细管电泳芯片、微惯性器件、微飞行器等.纳米科学技术被认为是面向21世纪的新科技,它强调“小尺度”和“新性质”两个基本的特征.它将可能导致信息、能源、制造、环境、农业、医疗、航天、国防等方面的“革命性”的变化,因此受到各国政府的广泛重视.随着纳米科学技术的发展,NEMS(纳机电系统)的研究,特别是NEMS发展的重点、基础和创新开始引起广泛的重视.概述了

【作者单位】：北京清华大学北京清华大学
【分类号】：TH703

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
2	周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析[A];新世纪新机遇新挑战——知识创新和高新技术产业发展（上册）[C];2001年
3	郑泉水;刘益伦;杨佳瑞;Francois Grey;程耀;;基于石墨烯的新原理微纳机电系统:机遇与挑战[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
4	郑泉水;徐志平;江博;王立峰;;碳纳米管超快纳机电系统——实验、模拟和跨声子现象[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（上）[C];2005年
5	宋震煜;于虹;黄庆安;;纳米梁的动态特性研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
6	高春新;张颖;杜启明;张丽荣;;山东省科技期刊产业化现状分析[A];全面建设小康社会：中国科技工作者的历史责任——中国科协2003年学术年会论文集（下）[C];2003年
7	马亚兵;;我国微量元素相关产品产业化分析[A];首届泰山微量元素高级论坛论文汇编[C];2007年
8	李昕欣;;Art and Science——微纳传感器和微纳机电系统技术[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（下）[C];2005年
9	张无敌;尹芳;李建昌;夏朝凤;刘士清;官会林;毛羽;;商品化玻璃钢户用沼气池产业化分析[A];沼气产业化发展研讨会论文选编[C];2005年
10	王敏敏;罗月新;计波;朱峰;吕维洁;张荻;;原位自生钛基复合材料的产业化分析[A];节能环保和谐发展——2007中国科协年会论文集（一）[C];2007年

中国重要报纸全文数据库

前3条

1	周景山徐伟;第二届江苏省青年科学家年会即将开幕[N];江苏科技报;2008年
2	;中科院成功制备微纳米金属玻璃纤维[N];中国技术市场报;2011年
3	记者李林霞　通讯员高微征;我省两教授获何梁何利基金奖励[N];山西日报;2011年

中国博士学位论文全文数据库

前7条

1	高海源;硅和石墨烯材料纳机电系统的机电耦合特性研究[D];浙江大学;2012年
2	Muhammad Rizwan Malik;[D];华中科技大学;2011年
3	李成;纳米梁及纳米类梁结构的静力学和动力学的非局部理论、模型及求解[D];中国科学技术大学;2011年
4	Muhammad Rizwan Malik;[D];华中科技大学;2011年
5	付永忠;基于AFM和硫系相变材料的超高密度数据存储机理研究[D];江苏大学;2010年
6	嵇佳斌;纳米压痕/划痕测试装置的设计与试验研究[D];吉林大学;2010年
7	李明;固体微颗粒粘附与清除的机理及表面保洁技术的研究[D];中南大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	孙旭东;创意产业背景下的工业设计产业化对策研究[D];山东大学;2009年
2	宋震煜;纳米梁的非线性行为研究及单晶硅纳米薄膜杨氏模量的分子动力学模拟[D];东南大学;2006年
3	王平;纳机电系统中气体吸附解吸附问题研究[D];东南大学;2005年
4	黄英华;纳机电系统的温度效应研究[D];暨南大学;2009年
5	赖鼐;基于MEMS技术的硅纳米线机械特性与制造方法研究[D];浙江大学;2006年
6	徐临燕;NEMS测试中若干关键技术的研究[D];天津大学;2006年
7	葛羽屏;RF MEMS器件集成及其功能材料应用研究[D];华东师范大学;2005年
8	陈允正;我国油茶资源经济利用评价与产业化分析[D];中国林业科学研究院;2011年
9	马泽华;区域风能开发利用水平的综合评价研究[D];天津大学;2007年
10	许利民;生物技术产业企业的融资渠道与方法[D];重庆大学;2006年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡神州行卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62791813 010-62985026	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南