收藏本站
《第14届全国特种加工学术会议论文集》2011年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

在不锈钢表面利用飞秒激光加工微小结构的试验研究

齐立涛  
【摘要】:利用波长780 nm、频率1 kHz、脉冲宽度164 fs的飞秒脉冲激光,在不锈钢表面进行微小结构加工的试验研究。利用飞秒激光静态照射不锈钢表面,通过飞秒激光烧蚀孔的直径和脉冲能量的关系,计算飞秒激光烧蚀不锈钢材料的烧蚀阈值和有效烧蚀半径。利用烧蚀的微孔直径对飞秒激光加工的最小尺寸进行了阐述。研究了飞秒激光的主要参数(如脉冲能量和脉冲数量)对加工尺寸的影响规律。利用聚焦的飞秒激光束沿着扫描轨迹,在不锈钢表面加工较清洁的微小结构,微小结构的加工是为了使其应用于微小模具的加工,从而满足微机电系统中微小器件的中、大规模生产,降低其成本。
【作者单位】:黑龙江科技学院机械工程学院
【分类号】:TN249

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 林晓辉;张赤斌;任维松;蒋书运;欧阳全会;;A theoretical model of the femtosecond laser ablation of semiconductors considering inverse bremsstrahlung absorption[J];半导体学报;2012年04期
2 陈彬;邱建荣;余昺鲲;朱从善;;飞秒激光诱导金属功能微结构研究进展[J];材料导报;2004年10期
3 唐小娟;刘向力;钟占荣;;飞秒激光加热引起相变过程的研究进展[J];材料导报;2009年19期
4 邱建荣,钱国栋,Kazuyuki Hirao;飞秒激光空间选择性诱导玻璃微结构及应用[J];材料研究学报;2003年01期
5 杨小琦;张长水;徐海斌;叶宝娟;;脉冲激光参数在烧蚀固体材料过程中的影响[J];硅谷;2009年02期
6 刘院省;刘世炳;陈涛;;短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制[J];强激光与粒子束;2007年08期
7 李莉;张端明;房然然;祖小涛;;飞秒多脉冲激光烧蚀金属过程中的能量剩余现象[J];强激光与粒子束;2009年11期
8 王世俊;王英龙;丁学成;梁伟华;邓泽超;褚立志;傅广生;;激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响[J];强激光与粒子束;2010年08期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 邱建荣;姜雄伟;朱从善;;飞秒激光诱导玻璃功能微结构[A];2005中国硅酸盐学会特种玻璃分会学术研讨会会议论文集[C];2005年
2 邱建荣;姜雄伟;朱从善;;飞秒激光诱导玻璃功能微结构[A];庆祝中国硅酸盐学会成立六十周年专辑[C];2005年
3 黎小鹿;陶向阳;李俊;;超短脉冲激光烧蚀半导体材料数值模拟[A];2007年全国第十六届十三省(市)光学学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田野;聚合物微机械的飞秒激光加工及驱动研究[D];吉林大学;2011年
2 李廷会;金属氧化物半导体纳米材料的制备、表征及其光学性质研究[D];南京大学;2011年
3 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
4 王文君;飞秒激光金属加工中的形状及形貌控制研究[D];西安交通大学;2008年
5 戴永;基于激光超声检测金属材料表面缺陷的数值模拟[D];江苏大学;2011年
6 吴勃;金属仿生功能微结构的激光制备与研究[D];江苏大学;2011年
7 倪晓昌;飞秒激光微精细加工理论与实验研究[D];天津大学;2004年
8 刘青;飞秒激光在透明介质中的三维光存储研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
9 程光华;飞秒激光与透明介质相互作用的非线性及应用[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2004年
10 毛方林;飞秒激光显微操作系统的研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨鼎;整形飞秒激光对金属材料进行烧蚀的实验研究[D];吉林大学;2011年
2 李铁强;激光诱导击穿光谱仪及应用[D];杭州电子科技大学;2011年
3 董仲伟;Yb:LiYF_4激光晶体生长与性能研究[D];长春理工大学;2011年
4 李昞晖;电解射流—激光复合加工技术基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 秦雷;紫外激光微细加工实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 吴鹏;毫秒脉冲激光作用二元金属靶材制备纳米复合材料[D];天津大学;2010年
7 劳慧颖;飞秒激光诱导金属和铁电晶体表面烧蚀及畴反转的研究[D];上海交通大学;2011年
8 高海燕;液相环境下飞秒激光烧蚀金属靶材的机理[D];华中科技大学;2011年
9 谭波;响应曲面法优化激光打孔工艺参数的研究[D];华中科技大学;2011年
10 李强;基于飞秒光精密加工技术金属薄膜深小孔加工研究[D];上海交通大学;2012年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 倪晓昌,王清月,胡明列;飞秒激光微细加工中光耦合器参数的数值模拟[J];光子学报;2005年02期
2 柴路;王晓峰;;超快激光技术研究进展——记天津大学超快激光研究室[J];激光与光电子学进展;2007年02期
3 郭玉洁;帕力哈提·米吉提;;超短脉冲激光和钛宝石飞秒激光器[J];山西大同大学学报(自然科学版);2007年04期
4 李珣;张德样;贾威;刘博文;宋有建;倪晓昌;王清月;;利用飞秒激光双光子聚合法制作相位光栅[J];激光杂志;2008年06期
5 龚小竞;褚家如;杨建军;张铁群;朱晓农;;改进的飞秒激光加工微型光波导方法[J];光学精密工程;2007年01期
6 倪晓昌;洪茹;王清月;柴路;贾威;;飞秒激光深孔加工技术研究[J];天津工程师范学院学报;2008年03期
7 刘海英;;水也能往高处流[J];今日科苑;2009年15期
8 张绮;张伟刚;张健;刘卓琳;姜萌;刘亚萍;林锦海;;飞秒激光蚀刻光纤微腔及其在光纤环衰荡腔中的应用[J];中国激光;2009年03期
9 苗恩铭;陈甦欣;牛鹏程;颜焱;费业泰;;飞秒激光微加工中热熔化与热传递现象研究[J];农业机械学报;2011年04期
10 倪晓昌;孙琦;陈永耀;李海燕;王清月;柴路;贾威;;飞秒激光烧蚀材料表面产生纳米波纹结构的实验[J];纳米技术与精密工程;2009年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 齐立涛;;在不锈钢表面利用飞秒激光加工微小结构的试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
2 马婧;程文静;张诗按;贾天卿;孙真荣;;Su-8中多光子吸收的超快相干控制与微加工[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3 魏学勤;郑启光;辜建辉;李再光;;连续CO_2激光辐照加热不锈钢时的反常温度涨落特性[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 记者  陈超;碳纳米管技术首次检测出太赫兹光子[N];科技日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 邓明;新型光纤F-P干涉传感结构及特性研究[D];重庆大学;2009年
2 王乐妍;激光光致热塑成型效应及三维微结构制备新方法研究[D];浙江大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王梦影;飞秒激光加工光纤微孔方法及其模拟[D];武汉理工大学;2012年
2 王颖;飞秒激光在气体中成丝展宽光谱和刻划周期结构铌酸锂的研究[D];天津大学;2006年
3 杨晓辰;光子晶体光纤机械特性及其干涉传感特性研究[D];重庆大学;2007年
4 王明耀;不锈钢表面激光制造彩色氧化膜的机制研究[D];华中科技大学;2006年
5 高巍;双光子聚合加工非球面微透镜的研究[D];吉林大学;2010年
6 孙伟;飞秒激光损伤阈值对表面态依赖物理机制的研究[D];吉林大学;2009年
7 侯双双;飞秒激光在不锈钢表面诱导亚波长和深亚波长周期条纹结构及超快动力学过程的研究[D];华东师范大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026