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《2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集》2007年
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利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列

伊福廷  张菊芳  侯凤杰  
【摘要】:金属微孔在许多领域内有着巨大的需求,电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片,满足该产品的需要,利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制造。该方法加工的金属片厚50μm,微孔尺寸5μm,分布均匀,雾化颗粒小, 雾化效果好,满足了微孔雾化器的特殊需要。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
2 朱保国;王振龙;孙立忠;;微细电解加工实验研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);2007年S1期
3 李勇;崔晶;李向阳;鲁培;佟浩;陈旭鹏;;微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究[J];电加工与模具;2005年06期
4 贾宝贤,王振龙,赵万生;基于特种加工的微小孔加工技术[J];电加工与模具;2005年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 翁明浩;王振龙;;微阵列轴孔的电火花和电化学组合加工工艺研究[A];第三届十省区市机械工程学会科技论坛暨黑龙江省机械工程学会2007年年会论文(摘要)集[C];2007年
2 伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 杨长盛;电解研磨扩孔技术的试验研究[D];南京航空航天大学;2006年
2 董德生;阵列轴孔的微细超声电火花复合加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 刘云飞;无再铸层小孔的电加工组合工艺试验研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 孙德旭;多功能微细加工数控平台研究[D];中国石油大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李芳 ,李勇 ,周骋 ,郑云飞;微小电极夹持送进机构设计[J];电加工与模具;2002年02期
2 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
3 贾宝贤,王振龙,赵万生;基于特种加工的微小孔加工技术[J];电加工与模具;2005年02期
4 吴鑫,李勇,崔晶,鲁培;三维微细电火花加工系统设计及实验研究[J];电加工与模具;2005年04期
5 吴海波,狄士春,迟关心,赵万生;高频窄脉冲电化学加工正交试验研究[J];电加工与模具;2005年05期
6 朱荻;特种加工技术的应用与发展[J];航空精密制造技术;1995年04期
7 荣烈润;激光微细孔加工技术及其应用[J];机电一体化;2003年06期
8 艾冬梅,贾志新;小孔加工技术发展现状[J];机械工程师;2000年01期
9 李经天 ,董湘怀 ,黄菊花;微细塑性成形研究进展[J];塑性工程学报;2004年04期
10 贾宝贤,王振龙,赵万生;适用于微机械制造的常规加工方法[J];新技术新工艺;2003年08期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
2 伊福廷;张菊芳;侯凤杰;;利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
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