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《2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集》2007年
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集成电路精密引线模具激光微纳加工技术

曹凤国  张勤俭  刘媛  
【摘要】:随着集成电路、大规模集成电路的大量应用,其功能向多引线化、高集成度和小型化发展,要求用更细的键合金丝进行窄间距、长距离的键合,对键合金丝的技术指标提出了越来越高的要求。因此对生产键合金丝的精密引线模具的需求量大大增加。激光加工技术作为精密引线模具的最主要的加工方法,是世界各国学者研究的热点。目前,集成电路精密引线模具的激光加工主要采用“轮廓法”。该方法的缺点是越靠近孔的中心剥去的材料越多,精确的孔型难以得到。本文在理论和实践的基础上,提出了一种新的激光数控打孔自适应模型。在模具的压缩区,通过控制工件的转速实现材料的均匀去除,并且使激光脉冲能量随着孔径的减小而递减,提高孔型精度。结果表明,该模型可以有效提高微孔的加工精度,最小加工孔径达到3.5μm。理论和实践证明,本文提出的激光打孔数控模型是集成电路精密引线模具激光打孔的有效方法。

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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 许丽璇;;普洱茶中黄酮类化合物提取方法和抗氧化性初步研究[J];安徽农业科学;2009年30期
2 陈晓磊;吴斌;於陈浩;谢凤宽;梁志杰;;摩擦电喷镀镍基纳米氧化铝镀层组织及性能研究[J];材料导报;2008年S1期
3 赵君文;吴树森;毛有武;安萍;;功率超声振动在金属材料成形中的研究及应用[J];材料导报;2008年S1期
4 张康;张奎;李兴刚;;超声波处理对镁合金铸态组织的影响[J];材料导报;2009年03期
5 张磊磊;陈克选;刘晓刚;宋聚海;;一种逆变式超声焊接电源频率跟踪技术[J];电焊机;2009年04期
6 曹凤国,张勤俭;超声加工技术的研究现状及其发展趋势[J];电加工与模具;2005年S1期
7 王占和;范仲俊;朱永伟;;微结构超声复合加工机理分析与试验[J];电加工与模具;2009年06期
8 王跃;轧刚;王翠英;;超声波椭圆振动切削研究[J];电加工与模具;2010年03期
9 谨亚辉;轧刚;;新型超声变幅杆的优化设计[J];电加工与模具;2010年S1期
10 冯步奇;王时英;轧刚;;超声喷丸中矩形截面复合型变幅杆的动力学特性研究[J];电加工与模具;2012年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 郭永丰;李朝将;白基成;卢泽生;;微小孔超声电火花复合加工的试验研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
3 黄云;王福明;;超声振动精密砂带磨削1Cr13叶片不锈钢试验研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
4 连海山;郭钟宁;陈春沐;;超声加工中单磨粒冲击对材料去除率的仿真[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
5 高飞;顾琳;赵万生;;旋转超声加工中的材料塑性去除模型[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
6 叶发根;曹辉;林书玉;;锥形截面薄圆环扭转振动研究[A];中国声学学会2009年青年学术会议[CYCA’09]论文集[C];2009年
7 连海山;何建文;郭钟宁;张永俊;赵文凤;;多功能数控超声加工机床设计[A];第11届粤港机械电子工程技术与应用研讨会论文汇编[C];2010年
8 李军文;付莹;包华博;桃野正;田汤善章;;利用超声波去除金属熔体内气体的研究[A];中国机械工程学会第十一届全国铸造年会论文集[C];2006年
9 郭永丰;李朝将;白基成;卢泽生;;微小孔超声电火花复合加工的试验研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
10 曹凤国;张勤俭;刘媛;;集成电路精密引线模具激光微纳加工技术[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵明利;多频率超声辅助磨削纳米氧化锆陶瓷表面/亚表面损伤机理研究[D];河南理工大学;2010年
2 沈学会;超声振动辅助铣削加工技术及机理研究[D];山东大学;2011年
3 董春杰;超声振动辅助电火花放电表面强化技术及机理研究[D];山东大学;2011年
4 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
5 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
6 王慧军;超声波磁流变复合抛光关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 祝锡晶;功率超声振动珩磨技术的基础与应用研究[D];南京航空航天大学;2007年
8 杨卫平;超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
9 赵君文;振动制备Al-Si合金半固态浆料及其组织与性能的研究[D];华中科技大学;2009年
10 王婷;超声表面滚压加工改善40Cr钢综合性能研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李义辉;超声无磨料内圆抛光声学系统及抛光工艺研究[D];河南理工大学;2010年
2 蒋建军;二维超声无磨料抛光工艺参数优选试验研究[D];河南理工大学;2010年
3 赵捷;超硬磨料CBN砂轮超声振动修整技术研究[D];河南理工大学;2010年
4 刘义付;二维超声无磨料抛光声学系统研究[D];河南理工大学;2010年
5 安成明;微细超声加工装置及基础工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
6 张瑞风;复合材料数控钻铣试验台研制及功能试验研究[D];大连理工大学;2010年
7 李英华;基于旋转行波的超声抛光振子理论及实验研究[D];辽宁工业大学;2011年
8 李冠楠;黑木耳多糖的提取及工业技术研究[D];吉林大学;2011年
9 姚建国;纳米复相陶瓷在超声振动作用下的蠕变特性研究[D];河南理工大学;2011年
10 贾振锋;工程陶瓷材料超声作用下的体积效应研究[D];河南理工大学;2011年
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7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
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