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《2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集》2007年
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UV-LIGA制作微细群电极工艺研究

胡洋洋  朱荻  曾永彬  明平美  
【摘要】:微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行加工可以显著提高加工效率。本文研究了 UV-LIGA 制作微工具电极技术。以金属为基底,采用 UV-LIGA 工艺来制作微细群电极, 改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1mm 的 SU-8 胶结构,最大深宽比达10:1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极。

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