高精度微细电火花加工系统的研制
【摘要】:设计并研制了一个微细电火花加工系统。该系统主要由横轴布局V型陶瓷结构旋转主轴系统、带有压电陶瓷的宏微伺服进给系统、制作微细工具的反拷系统和读数显微镜及电气控制等几部分组成。应用该系统已成功地加工出了直径仅为Φ4.5μm的微细轴和直径仅为Φ8μm的微小孔。
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