高精度微细电火花加工系统的研制

【摘要】：设计并研制了一个微细电火花加工系统。该系统主要由横轴布局V型陶瓷结构旋转主轴系统、带有压电陶瓷的宏微伺服进给系统、制作微细工具的反拷系统和读数显微镜及电气控制等几部分组成。应用该系统已成功地加工出了直径仅为Φ4．5μm的微细轴和直径仅为Φ8μm的微小孔。

【作者单位】：哈尔滨工业大学哈尔滨工业大学哈尔滨工业大学
【分类号】：TG661

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1	刁国虎;贾连杰;朱永伟;;超声复合放电微细加工试验研究[J];机械工程与自动化;2011年04期
2	郭帅;罗红平;郭钟宁;;微细电极在线制备技术的研究进展[J];制造技术与机床;2011年08期
3	宋满仓;刘莹;祝铁丽;杜立群;王敏杰;刘冲;;塑料微流控芯片的注塑成型[J];纳米技术与精密工程;2011年04期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王君;周言敏;李建芳;袁勇;梅高国;;激光在微细加工中应用的探索[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2	赵万生;李文卓;王振龙;;高精度微细电火花加工系统的研制[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
3	赵毅;刘立兵;李明辉;;基于逐层激光诱导化学液相沉积的3D微细加工新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4	赵桂荣;赵高扬;;化学修饰法制备的ZrO_2-SiO_2系非晶薄膜及其微细加工[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
5	阎秋生;张自强;唐延辉;;磨料喷射微细加工应用基础研究——喷嘴设计及加工试验[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
6	赵毅;刘立兵;李明辉;;基于逐层激光诱导化学液相沉积的3D微细加工新技术[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
7	王新林;陆培祥;戴能利;李玉华;王英;廖常锐;;飞秒激光精密微细加工[A];2006年全国强场激光物理会议论文集[C];2006年
8	周拥军;唐火红;蒋中伟;黄文浩;夏安东;刘允萍;褚家如;;用于三维光学信息存储和微细加工研究的共焦激光扫描荧光显微镜[A];第三届全国扫描电子显微学会议论文集[C];2003年
9	邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
10	李树军;张永俊;李风;刘小康;;微细掺粉电解抛光设备设计及其工艺试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年

中国重要报纸全文数据库

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1	黄春韶;满足微细加工需求平面磨床发展趋势明显[N];中国工业报;2007年
2	本报记者何人民;华工激光进军精密微细加工领域[N];中国工业报;2009年
3	叶甜春;90/65/45纳米半导体工艺——IT产业新的起跑线[N];计算机世界;2003年
4	金通证券陈泳潮;G金果业绩回暖超跌严重[N];证券时报;2006年
5	唐苏亚;纳米技术研究方兴未艾[N];中国电子报;2002年
6	第一创业证券陈靖;深圳华强价值洼地积极关注[N];上海证券报;2007年
7	苏益;“973计划”核心科学家推销“大企业研发主导制”[N];第一财经日报;2006年
8	汪明;2009年全球生物传感器市场有望突破40亿美元[N];中国医药报;2006年
9	本报记者宦建新通讯员单泠;一个项目如何占有全国25%的市场份额？[N];科技日报;2005年
10	记者　江卉、通讯员　汪伟、徐晶;“绿激光显微精密修调机”项目通过鉴定[N];湖北日报;2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	鲍怀谦;超纯水微细电解加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
2	巫殷忠;飞秒激光在固体材料上制作微结构的研究[D];天津大学;2008年
3	郭锐;飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究[D];中国科学技术大学;2008年
4	彭林法;微/介观尺度下薄板成形建模分析与实验研究[D];上海交通大学;2008年
5	王新林;飞秒激光烧蚀金属材料特性与微零件制备研究[D];华中科技大学;2007年
6	明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
7	尉伟;微盘光谐振腔的制作研究[D];中国科学技术大学;2007年
8	罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
9	冷洪滨;高性能数控系统若干关键技术的研究[D];浙江大学;2008年
10	路家斌;电磁流变协同效应微磨头加工机理研究[D];广东工业大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	梁群兰;二氧化硅基光导膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
2	王晓娜;基于激光捕捉技术的微细加工[D];浙江大学;2004年
3	杜泽惠;锆钛酸铅镧铁电薄膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
4	韩桂海;三维微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2005年
5	朱效立;准分子激光微细加工工艺和加工机理研究[D];北京工业大学;2005年
6	曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
7	李文博;多功能微机床微细车、铣模块设计及实验研究[D];广东工业大学;2012年
8	刘明宇;微细电火花加工超短脉宽脉冲电源的研制[D];哈尔滨工业大学;2007年
9	彭思平;超纯水微细电解加工送进装置的研制[D];南京航空航天大学;2005年
10	陈安骏;超声电解复合加工在微器件制作中的基础研究[D];南京航空航天大学;2005年

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