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《2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集》2001年
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基于LIGA技术的微细电火花加工研究

彭良强  伊福廷  张院春  邹丽芸  张菊芳  韩勇  
【摘要】:实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术。通过同步辐射深度光刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李勇,严晓敏,郭,王显军,邹丽芸;微细电火花加工工艺研究[J];电加工;1998年04期
2 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
3 彭良强,伊福廷,张菊芳,韩勇,张院春;一种微细EDM电极的制造方法[J];电加工与模具;2000年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李晓丹;王淑英;;高职特种加工课程“电火花加工的原理及应用”教学方法探讨[J];才智;2008年05期
2 彭良强,伊福廷,张菊芳,韩勇,张院春;一种微细EDM电极的制造方法[J];电加工与模具;2000年06期
3 徐家文 ,王建业 ,田继安;21世纪初电解加工的发展和应用[J];电加工与模具;2001年06期
4 朱荻;纳米技术与特种加工[J];电加工与模具;2002年02期
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6 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
7 于云霞;微细电火花加工实验及工艺规律研究[J];电加工与模具;2004年03期
8 康敏,赵建社,徐家文;矩形截面内喷式阴极展成电解加工平面的工艺试验[J];电加工与模具;2004年05期
9 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
10 仲高艳;康敏;;基于BP神经网络的数控超声加工性能研究[J];电加工与模具;2007年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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6 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇;邹丽芸;张院春;;细长型电火花工具电极的制作研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
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10 朱荻;;纳米制造技术与特种加工[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 王维;群小孔电解加工的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
4 李翔龙;电火花铣削加工中伺服运动及工具补偿智能控制技术的研究[D];四川大学;2003年
5 王希;电解加工间隙智能监控方法研究[D];南京航空航天大学;2006年
6 魏冰阳;螺旋锥齿轮研磨加工的理论与实验研究[D];西北工业大学;2005年
7 任升峰;烧结Nd-Fe-B永磁材料加工新技术及机理研究[D];山东大学;2006年
8 方宇;液中放电沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
10 李成锋;介观尺度铣削力与表面形貌建模及工艺优化研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李义辉;超声无磨料内圆抛光声学系统及抛光工艺研究[D];河南理工大学;2010年
2 陈娟烈;旋转超声波加工机理的有限元分析[D];太原理工大学;2011年
3 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 喻杰;微细电火花脉冲电源及伺服控制策略的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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6 房长兴;倒置式微细电火花超声复合加工装置研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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9 王学志;静电感应微细电火花加工放电特性与伺服控制研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 仲高艳;人工神经网络在数控超声加工中的应用研究[D];南京农业大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李勇,胡敏,周兆英,郭,严晓敏,邹丽芸,巫仁智;采用蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置[J];电加工;1998年02期
2 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 彭良强,伊福廷,张院春,邹丽芸,张菊芳,韩勇;LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究[J];微细加工技术;2002年02期
2 胡敏,周兆英,李勇;微细电火花加工技术[J];仪器仪表与分析监测;1995年04期
3 钱军,高长水,刘正埙;激波电火花复合微细孔加工试验研究[J];电加工与模具;1997年05期
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5 宋博岩;刘明宇;;微细电加工脉冲电源的研究进展[J];电加工与模具;2007年S1期
6 金柏冬;曹国辉;王振龙;肖凯;赵万生;;空气中微细电火花沉积的工艺规律研究[J];中国机械工程;2006年02期
7 邹丽芸,张院春,彭良强,黄军容,伊福廷,张菊芳,韩勇;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J];电加工与模具;2004年S1期
8 张锐;杨秀芝;韩从亚;;齿轮电火花加工中电极齿形和模具设计模块实现[J];电加工与模具;2006年02期
9 杨建明;乔斌;李化强;;电火花加工用工具电极材料的研究进展[J];工具技术;2007年08期
10 刘龙;范悦;;微细电火花加工的技术分析[J];吉林工程技术师范学院学报;2007年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邹丽芸;张院春;彭良强;黄军容;伊福廷;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
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3 彭良强;伊福廷;张院春;邹丽芸;张菊芳;韩勇;;基于LIGA技术的微细电火花加工研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4 赵万生;康小明;郭常宁;奚学程;张亚欧;裴景玉;韦红雨;顾琳;;特种加工技术的研究进展[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
5 张云鹏;孙广标;张安洲;;超声磨料对TC4钛合金电火花加工表面质量的影响[A];陕西省机械工程学会特种加工分会第九届学术年会论文集[C];2010年
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8 朱国征;黄永逸;卢有会;白基成;;去离子水工作液下微细阵列孔电火花加工工艺试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
9 温正忠;黄新梅;;电火花微细加工技术述评[A];第七届全国电加工学术年会论文集[C];1993年
10 赵万生;郭永丰;耿春明;;国外电火花加工最新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 刘爽;中科院光电所研制出新型光刻机[N];中国企业报;2008年
2 金陵;模具技术发展对机床提出三大要求[N];中国工业报;2009年
3 一介;机电一体化展露世界机床技术新动向[N];中国建材报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李磊;集束电极电火花加工性能研究[D];上海交通大学;2011年
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3 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年
4 郑新毅;深微孔电火花加工关键技术研究[D];大连理工大学;2010年
5 苏树朋;基于气体介质的电火花铣削加工技术及机理研究[D];山东大学;2008年
6 金柏冬;气中微细电火花沉积关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
8 赵伟;电火花加工中电极蚀除及其理论基础的研究[D];西北工业大学;2003年
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10 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 袁方;电火花深孔套料加工研究[D];西安石油大学;2010年
2 殷国强;电火花加工微孔的深径比理论模型研究[D];大连理工大学;2010年
3 吴勇;复杂型面电火花加工CAM技术研究[D];上海交通大学;2011年
4 王辉;混粉电火花加工中粉末效应的研究[D];大连理工大学;2005年
5 缪东辉;超硬材料的超声电火花复合加工的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 冀震晓;钛合金电火花加工脉冲电源的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 余卓骅;简单工具电极复杂轨迹刀补的实现研究[D];华东交通大学;2009年
8 刁国虎;超声复合电火花加工系统分析及试验研究[D];扬州大学;2011年
9 程化一;电火花套料加工实验及其计算机仿真的研究[D];武汉理工大学;2007年
10 周燕;电火花加工金属钛的试验研究与计算机仿真[D];大连理工大学;2006年
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